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白光干涉仪
日期:2021-11-08, 查看:125

仪器照片

仪器名称

白光干涉仪

仪器类别

光谱分析检测平台

生产厂家

BRUKER

规格型号

ContourGT-K

启用日期

2021.8

仪器说明

性能参数:垂直分辨率:≤0.1 nm

RMS重现性:≤0.01 nm

反射率范围:0.05% ~100%

设备采用白光干涉原理成像,集成VSI、PSI、VXI测量模式,同时系统可进行微观及宏观形貌测量,并且具有多区域分析功能,可以自动根据样品高度和颜色对表面的特征区域进行分析,获得包括尺寸、角度、斜率、面积、体积和位置等多种参数。